リファブ中古の対応装置

東京エレクトロン社製 Unityシリーズ、TE8500、TE5000等

Mattson社製ASPEN2

Lam Research社製 Rainbowシリーズ、TCPシリーズ、Alliance

AMAT社製 Precision5000シリーズ、Centuraシリーズ、Endura5500

バリアン社製 I/I

Nikon社製 ステッパー、KLA-Tencor社製膜厚測定器、異物検査装置、欠陥検査装置 等

コーダーデベロッパー

その他

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