リファブ中古の対応装置
東京エレクトロン社製 Unityシリーズ、TE8500、TE5000等
Mattson社製ASPEN2
Lam Research社製 Rainbowシリーズ、TCPシリーズ、Alliance
AMAT社製 Precision5000シリーズ、Centuraシリーズ、Endura5500
バリアン社製 I/I
Nikon社製 ステッパー、KLA-Tencor社製膜厚測定器、異物検査装置、欠陥検査装置 等
コーダーデベロッパー
その他
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